一种原位测试样品台和原位测试方法,申请号CN201610411154.9-传众专利搜索

一种原位测试样品台和原位测试方法

申请公布号：CN105928961A

申请号：CN201610411154.9

申请日期：2016.06.13

申请公布日期：2016.09.07

申请人：

北京工业大学

发明人：张跃飞;王晋

分类号：G01N23/22(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I

主分类号：G01N23/22(2006.01)I

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：李娜

地址：100000 北京市朝阳区平乐园村100号

摘要：本发明公开一种原位测试样品台和原位测试方法，包括显微镜腔室、透射电子显微镜TEM样品杆、电子束发射枪、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头，显微镜腔室的前表面和后表面之间设置有腔室，背散射电子探头、聚焦离子束发射枪穿设于第二侧面上，上表面上穿设有电子束发射枪，第一侧面上穿设有聚焦离子束发射枪，第四侧面上设置有第一法兰孔，第三侧面上设置有第二法兰孔，TEM样品杆安装于第一法兰孔或第二法兰孔。本发明能使聚焦离子束电子束显微镜与透射电镜能结合起来使用，从块体材料切取后能无污染的、无人为因素损伤的直接转移到透射电镜样品台，并结合两者的显微分析功能实现纳米尺度、原子尺度的原位测试分析。

主权项：一种原位测试样品台，其特征在于：包括显微镜腔室、透射电子显微镜TEM样品杆、电子束发射枪、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头，所述显微镜腔室的前表面和后表面之间设置有腔室，所述显微镜腔室的上表面的左侧设置有第一侧面和第二侧面，所述显微镜腔室的上表面的右侧设置有第三侧面和第四侧面，所述上表面和所述下表面平行，所述第一侧面与所述下表面垂直且相交，述第三侧面与所述下表面垂直且相交，所述第二侧面设置在所述第一侧面与所述上平面之间，所述第四侧面设置在所述第三侧面与所述上平面之间，所述第一侧面和所述第二侧面的夹角为钝角，所述第三侧面与所述第四侧面的夹角为钝角，所述二聚焦离子束发射枪穿设于所述第二侧面上，所述上表面上穿设有所述电子束发射枪，所述第一侧面上穿设有所述聚焦离子束发射枪和电子背散射探头，所述第四侧面上设置有第一法兰孔，所述第三侧面上设置有第二法兰孔，所述TEM样品杆安装于第一法兰孔或第二法兰孔，所述TEM样品杆的样品端、电子束发射枪的发射端、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头的均位于所述腔室内。