固态成像装置
申请公布号:CN102017150B
申请号:CN200980115090.6
申请日期:2009.04.30
申请公布日期:2016.08.03
发明人:山下雄一郎;小林昌弘;渡边高典;小岛伸介;市川武史;大贯裕介
分类号:H01L27/146(2006.01)I
主分类号:H01L27/146(2006.01)I
代理人:杨小明
地址:日本东京
摘要:一种包括多个像素(100)的固态成像装置,各像素包含:用于保持来自光电转换部分(101)的信号载流子的第一保持部分(103),用于放大和读取基于在光电转换部分中产生的信号载流子的信号的放大部分(109),以及用于将光电转换部分中的电荷载流子排出到OFD区域的载流子排出控制部分(111);并在光电转换部分和第一保持部分之间具有载流子路径,其中,当从光电转换部分的输出节点观察时,固态成像装置还包括通过第一传送单元(104)与第一保持部分并联电连接的第二保持部分(105),由此在抑制产生混入电荷载流子保持部分中的噪声的同时使动画成像平滑化而不导致不连续的帧。
主权项:一种包括多个像素的固态成像装置,各像素包含:嵌入型光电二极管;第一保持部分,所述第一保持部分用于保持来自所述光电二极管的信号载流子;放大部分,所述放大部分用于放大并读取基于在所述光电二极管中产生的信号载流子的信号;和载流子排出控制部分,所述载流子排出控制部分用于控制所述光电二极管和溢出漏极区域之间的电连接,其中,所述光电二极管和第一保持部分之间的载流子路径由埋入沟道结构构成,所述埋入沟道结构存在于距离半导体基板的表面预先确定的深度的部分中,并且,其中,在第一保持部分和所述放大部分之间经由第一传送部分布置第二保持部分,并且所述光电二极管、第一保持部分和第二保持部分、所述放大部分、所述载流子排出控制部分以及所述载流子路径布置在相同的半导体基板中,其中,由第二保持部分保持的信号载流子在第一帧读出操作中被传送到放大部分的输入部分,在第一帧读出操作的时段中光入射到所述光电二极管以进行第二帧的光电转换。
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