一种真空沉积系统及其旋转馈入装置,申请号CN201310557165.4-传众专利搜索

一种真空沉积系统及其旋转馈入装置

申请公布号：CN103602956B

申请号：CN201310557165.4

申请日期：2013.11.08

申请公布日期：2016.02.17

申请人：

南方科技大学

发明人：何祝兵;苏奇聪;王春柱

分类号：C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I

主分类号：C23C14/50(2006.01)I

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：郝传鑫;熊永强

地址：518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号

摘要：本发明公开了一种真空沉积系统及其旋转馈入装置。真空沉积系统包括旋转馈入装置及真空腔室。旋转馈入装置安装于真空腔室的安装孔，其包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；第一固定组件的第一固定座上设有轴孔；第一动密封组件安装于轴孔中；传动轴绕自身轴向转动穿设第一动密封组件；第一直驱马达安装于第一固定组件。采用直驱马达作为动力源，第一直驱马达可直接驱动传动轴转动，其连接方式更加简捷，并使得整个旋转馈入装置的结构简捷轻巧，节约了整个装置的成本，且方便后期的设备安装维护；第一直驱马达的传动声音小、寿命长、控制精度更加准确，且工作时产生的振动小，可有效保证真空沉积系统的高精度、无污染。

主权项：一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动；所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。