一种重复可调式的镀膜仿面形工装,申请号CN201410838053.0-传众专利搜索

一种重复可调式的镀膜仿面形工装

申请公布号：CN104480449A

申请号：CN201410838053.0

申请日期：2014.12.30

申请公布日期：2015.04.01

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人：武潇野;时光;才玺坤;梅林;张立超;隋永新;杨怀江

分类号：C23C14/50(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I

主分类号：C23C14/50(2006.01)I

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：南小平

地址：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

摘要：一种重复可调式的镀膜仿面形工装，属于光学镀膜领域，解决了现有技术仿面形夹具难以模拟多种曲率半径和不同口径的镀膜基片，在反复的加热、镀膜过程中，容易发生变形的技术问题；本发明包括行星盘、多个可调式镜座和镀膜基片；多个可调式镜座通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘以螺旋放射状排列，镀膜基片在可调式镜座上；本发明对大口径曲面元件进行模拟仿面形镀膜实验中，能够自由选择所模拟面形的曲率半径和镀膜口径，一套本工装能够模拟任意口径和曲率半径的曲面面形，重复使用节约了工装成本；由于每个镜座的角度都是能够调节的，因此有效地避免了由于旋转、加热等导致的工装变形。

主权项：一种重复可调式的镀膜仿面形工装，其特征在于，包括行星盘(1)、多个可调式镜座(4)和镀膜基片(3)；多个可调式镜座(4)通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘(1)中央以螺旋放射状排列，镀膜基片(3)在可调式镜座(4)上。