Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads

申请公布号：DE102013100079(A1)

申请号：DE201310100079

申请日期：2013.01.07

申请公布日期：2013.07.18

申请人：

INFINEON TECHNOLOGIES AG

发明人：KLEINBICHLER, FRANZ;KOITZ, MARCO;KRENN, CHRISTIAN;MAYER, KARL;ZIEGER, GUENTER;ZOTH, GUENTHER

分类号：H01L21/28;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/56;H01L21/60;H01L29/40

主分类号：H01L21/28

摘要：<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads aufweisen: Bereitstellen eines Kontaktpads, wobei eine oberste Schicht des Kontaktpads Aluminium oder eine Aluminiumlegierung aufweist, wobei zumindest ein Teil der obersten Schicht des Kontaktpads freigelegt ist; das Kontaktpad einer thermisch aktivierten Atmosphäre aussetzen, die Wasser oder reaktive Bestandteile von Wasser aufweist.</p>

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