一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统
申请公布号:CN103088432A
申请号:CN201110350001.5
申请日期:2011.11.08
申请公布日期:2013.05.08
发明人:徐锡文
分类号:C30B35/00(2006.01)I
主分类号:C30B35/00(2006.01)I
代理人:徐激波
地址:225600 江苏省扬州市高邮市甘垛镇工业园区
摘要:本发明公开了一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统,包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口,所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖,过滤罐盖上设有安全充气阀,过滤罐体内设有铝合金内筒,所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上,过滤罐体的下面设有出气口,过滤罐体的侧面设有进气口。本发明采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质,能够过滤更细小的杂质,同时蜂窝状的结构,使其过气面积大大增加,提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质,减少真空泵油的用量,延长真空泵的使用寿命,提高单晶炉内真空度,具有十分重要的意义。
主权项:一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统,其特征在于:包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口,所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖,过滤罐盖上设有安全充气阀,过滤罐体内设有铝合金内筒,所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上,过滤罐体的下面设有出气口,过滤罐体的侧面设有进气口。
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