掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法,申请号CN201210297275.7-传众专利搜索

掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法

申请公布号：CN102849929A

申请号：CN201210297275.7

申请日期：2009.07.07

申请公布日期：2013.01.02

申请人：

信越化学工业株式会社

发明人：每田繁;大塚久利

分类号：C03B20/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I

主分类号：C03B20/00(2006.01)I

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：李帆

地址：日本东京

摘要：本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。

主权项：掺杂二氧化钛的石英玻璃元件，其具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中所述表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内具有至少两个极点，并且最大和最小点之间的折射率差为至多5×10‑5。