一种鼓泡分片设备,申请号CN201110168754.4-传众专利搜索

一种鼓泡分片设备

申请公布号：CN102842639A

申请号：CN201110168754.4

申请日期：2011.06.22

申请公布日期：2012.12.26

申请人：

扬州华尔光伏科技有限公司

发明人：徐锡文

分类号：H01L31/18(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I

主分类号：H01L31/18(2006.01)I

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：徐激波

地址：225636 江苏省扬州市高邮市甘垛镇工业园区

摘要：本发明公开了一种鼓泡分片设备，包括不锈钢水箱、硅片承载框、加热装置、不锈钢管、通气管、水油分离器和硅片工件板，所述不锈钢水箱的内壁安装有加热装置，所述硅片承载框安装于不锈钢水箱内，不锈钢水箱的底部设有不锈钢管，不锈钢管上设有多个气眼，不锈钢管与不锈钢水箱外部的通气管相连接，通气管上设有水油分离器，硅片承载框安装有硅片工件板。本发明的整体设计合理，操作简单，使用本鼓泡分片设备，一次性可以处理两块工件板上的硅片，更好的实现了节约人力物力的目的，同时因为整个过程的可控性，减少了人工扒片造成的崩边、裂片等不良品的出现，提高了整体成品率。

主权项：一种鼓泡分片设备，其特征在于：包括不锈钢水箱（1）、硅片承载框（2）、加热装置（3）、不锈钢管（4）、通气管（5）、水油分离器（6）和硅片工件板（7），所述不锈钢水箱（1）的内壁安装有加热装置（3），所述硅片承载框（2）安装于不锈钢水箱（1）内，不锈钢水箱（1）的底部设有不锈钢管（4），不锈钢管（4）上设有多个气眼，不锈钢管（4）与不锈钢水箱（1）外部的通气管（5）相连接，通气管（5）上设有水油分离器（6），硅片承载框（2）上安装有硅片工件板（7）。