位移驱动机构及曝光机,申请号CN201020242319.2-传众专利搜索

位移驱动机构及曝光机

申请公布号：CN201765434U

申请号：CN201020242319.2

申请日期：2010.06.28

申请公布日期：2011.03.16

申请人：

志圣科技(广州)有限公司

发明人：李冠颖

分类号：G03F7/20(2006.01)I;H02K7/06(2006.01)I

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：胡杰

地址：510850 广东省广州市花都区狮岭镇利和路6号

摘要：本实用新型公开了一种位移驱动机构及曝光机，该位移驱动机构包含下平台、上平台、水平位移驱动模组，其中上平台位于该下平台上方，水平位移驱动模组设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；升降驱动模组包括升降杆件及驱动单元，升降杆件能相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台是能相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接，驱动单元与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。带有该位移驱动机构的曝光机，可降低Z轴升降驱动机构承载的重量，进而提升Z轴升降驱动机构的运作速度，从而提高产量。

主权项：一种位移驱动机构，其特征在于，包含下平台、上平台、水平位移驱动模组，其中上平台位于该下平台上方，水平位移驱动模组设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；升降驱动模组包括升降杆件及驱动单元，升降杆件能相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台是能相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接，驱动单元与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。