一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法
申请公布号:CN101892515A
申请号:CN200910027873.0
申请日期:2009.05.18
申请公布日期:2010.11.24
发明人:陈宝昌
分类号:C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I
主分类号:C30B15/00(2006.01)I
代理人:柏尚春
地址:225600 江苏省高邮市甘垛镇工业集中区扬州华尔光伏科技有限公司
摘要:本发明提供了一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法,该方法突破了单晶硅片直径的限制,从目前的8英寸向12英寸发展;降低单晶硅片中氧碳元素的含量,提高单晶硅片的电学性能,该方法包括以下步骤:1、采用高纯多晶硅原料;2、使用高纯涂层石英坩埚,最大限度阻隔氧元素的析出渗入熔硅中反应生产新的杂质;3、在高纯氩气和高规格热场环境下生长硅单晶;4、采用直拉式单晶炉制备大直径硅单晶;5、对硅单晶进行切方、滚圆处理;6、采用碱腐工艺去除单晶表面损伤层;7、利用多线切割机,辅以切割线、碳化硅和切削液进行切片加工,生产出超过薄低氧碳的高效单晶硅片。
主权项:一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:1、采用高纯多晶硅原料;2、使用高纯涂层石英坩埚,最大限度阻隔氧元素的析出渗入熔硅中反应生产新的杂质;3、在高纯氩气和高规格热场环境下生长硅单晶;4、采用直拉式单晶炉制备大直径硅单晶;5、对硅单晶进行切方、滚圆处理;6、采用碱腐工艺去除单晶表面损伤层;7、利用多线切割机,辅以切割线、碳化硅和切削液进行切片加工,生产出超过薄低氧碳的高效单晶硅片。