透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置,申请号CN200810226995.8-传众专利搜索

透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置

申请公布号：CN101748405A

申请号：CN200810226995.8

申请日期：2008.11.28

申请公布日期：2010.06.23

申请人：

发明人：徐亚伟

分类号：C23C28/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;G06F3/042(2006.01)I

主分类号：C23C28/00(2006.01)I

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：逯长明

地址：100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5楼北方微电子

摘要：一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。本发明还提供一种透明导电膜、显示装置和太阳能电池。本发明的制造方法能够提高形成透明导电膜的速率；本发明的透明导电膜光电转换效率较高。

主权项：一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；其特征在于包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。