CARRIER CASE FOR RETICLE POD

申请公布号：JP2010036984(A)

申请号：JP20080244446

申请日期：2008.09.24

申请公布日期：2010.02.18

申请人：

GUGENG PRECISION INDUSTRIAL CO LTD

发明人：CHEN CHANG CHENG

分类号：B65D81/07;H01L21/673

主分类号：B65D81/07

摘要：<p><P>PROBLEM TO BE SOLVED: To produce an excellent vibration prevention effect and an excellent protection effect, and reduce the generation of particles. <P>SOLUTION: A carrier case for a reticle pod includes a top cover, a bottom cover and a buffer positioning device disposed in the storing space of the bottom cover. The buffer positioning device includes a carrier structural part and a plurality of elastic parts. The carrier structural part is constituted of a bottom part and a plurality of blade parts which are connected with the bottom part and are curved and extended in a vertical direction. A plurality of the elastic parts are connected with the bottom part and are curved in the other opposite vertical direction so as to form a plurality of the elastic parts including curved portions. A plurality of the curved portions of the elastic parts are formed in the same plane. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT</p>

Styrefremgangsmåde og -arrangement

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