步进式曝光机的图案影像设定及倍率误差补偿方法,申请号CN200610036082.0-传众专利搜索

步进式曝光机的图案影像设定及倍率误差补偿方法

申请公布号：CN100570491C

申请号：CN200610036082.0

申请日期：2006.06.26

申请公布日期：2009.12.16

申请人：

志圣科技(广州)有限公司

发明人：梁茂生;梁茂忠;高启清

分类号：G03F7/20(2006.01)I

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

代理机构：

广州市南锋专利事务所有限公司

代理人：李永庆

地址：510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号

摘要：本发明公开了一种步进式曝光机的图案影像设定及倍率误差补偿方法，其中图案影像设定方法为：(A)获取图案影像的容许对准误差与相对于目标曝光区的二维方向上的倍率误差的差异值；及(B)根据该容许对准误差与该异差值来决定图案影像的宽度值，及使该图案影像长度值大于两倍的该宽度值；倍率误差补偿方法为：(a)设定与图案影像的长边平行方向的长轴方向，测量在长轴方向上目标曝光区与图案影像间的倍率误差；及(b)若该倍率误差不等于零时，对应调整步进式曝光机的投影倍率，使图案影像与目标曝光区在长轴方向上的倍率误差为零。本发明的方法可提高步进式曝光机的对准精确度及曝光效率。

主权项：1、一种用于提高步进式曝光机的对准精确度及曝光速率的方法，该方法包括图案影像设定和倍率误差补偿，其特征是所述的图案影像设定包含以下步骤：(A)获取图案影像的容许对准误差与相对于目标曝光区在二维方向上的倍率误差的差异值；及(B)根据该容许对准误差与该差异值来决定图案影像的宽度值，及使图案影像的长度值大于两倍的宽度值；所述的倍率误差补偿包含以下步骤：(a)设定与图案影像的长边平行方向的长轴方向，测量在长轴方向上目标曝光区与图案影像间的倍率误差；及(b)若该倍率误差不等于零时，对应调整步进式曝光机的投影倍率，使图案影像与目标曝光区在长轴方向上的倍率误差为零。