一种基板快速冷却装置,申请号CN200820046736.2-传众专利搜索

一种基板快速冷却装置

申请公布号：CN201245374Y

申请号：CN200820046736.2

申请日期：2008.04.22

申请公布日期：2009.05.27

申请人：

志圣科技(广州)有限公司

发明人：杨海龙

分类号：B65G47/52(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I

主分类号：B65G47/52(2006.01)I

代理机构：

广州市南锋专利事务所有限公司

代理人：李永庆

地址：510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号

摘要：本实用新型公开了一种基板快速冷却装置，它包括设置在机架上的前、后输送装置，在前、后输送装置之间接有升降输送装置，在升降输送装置的下面设有水冷板，所述水冷板内部设有真空管路和水冷管路，真空管路与真空系统管道连接，水冷管路与水冷系统管道连接，水冷板的一面设有与真空管路相通的真空吸孔，另一面设有与水冷管路相通的进水口和出水口。本实用新型冷却速度快、冷却效果好、占地空间小。

主权项：1、一种基板快速冷却装置，包括设置在机架上的前、后输送装置(1、1’)，其特征在于：在前、后输送装置(1、1’)之间接有升降输送装置(2)，在升降输送装置(2)的下面设有水冷板(3)，所述水冷板(3)内部设有真空管路(31)和水冷管路(32)，真空管路(31)与真空系统(4)管道连接，水冷管路(32)与水冷系统(5)管道连接，水冷板(3)的一面设有与真空管路(31)相通的真空吸孔(33)，另一面设有与水冷管路(32)相通的进水口(34)和出水口(35)。