LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,申请号CN200720054209.1-传众专利搜索

LCD曝光机球座浮动升降平衡装置

申请公布号：CN201122231Y

申请号：CN200720054209.1

申请日期：2007.07.17

申请公布日期：2008.09.24

申请人：

志圣科技(广州)有限公司

发明人：夏卫平

分类号：G03F7/20(2006.01)

主分类号：G03F7/20(2006.01)

代理机构：

广州市南锋专利事务所有限公司

代理人：李永庆

地址：510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号

摘要：本实用新型公开了一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台、定位销、定位座、光罩玻璃，所述光罩玻璃设在吸附平台的上面，吸附平台与定位座通过定位销活动连接，其特征在于：还包括第一吸附球座、第二吸附球座，所述第一吸附球座固定在吸附平台的底面上，第二吸附球座位于第一吸附球座下方，该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触，所述第二吸附球座与定位座连接固定。由于采用了上述结构，本实用新型曝光品质好，结构简单、加工容易，易形成批量生产。

主权项：1. 一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台(1)、定位销(2)、定位座(3)、光罩玻璃(4)，所述光罩玻璃(4)设在吸附平台(1)的上面，吸附平台(1)与定位座(3)通过定位销(2)活动连接，其特征在于：还包括第一吸附球座(5)、第二吸附球座(6)，所述第一吸附球座(5)固定在吸附平台(1)的底面上，第二吸附球座(6)位于第一吸附球座(5)下方，该第一吸附球座(5)与第二吸附球座(6)浮动接触，所述第二吸附球座(6)与定位座(3)连接固定。