偏振光直线位移检测方法和传感器
申请公布号:CN1058332C
申请号:CN98106753.0
申请日期:1998.03.26
申请公布日期:2000.11.08
发明人:李伟
分类号:G01B11/02
主分类号:G01B11/02
代理人:林怀禹
地址:310027浙江省杭州市玉古路20号
摘要:一种偏振光直线位移检测方法和传感器,将被测量的直线位移X,通过机械转换机构,转换为与之具有某种函数关系的角位移θ,θ在偏振光检测系统中构成起偏器与检偏器透光轴间的夹角,θ与透过检偏器的光强I的关系即I=Iocos<SUP>2</SUP>θ,Io为光源强度,经光电变换的电信号V<SUB>i</SUB>也是θ与X的函数,将V<SUB>i</SUB>经电子线路处理,得到一个与X成正比的输出电信号V<SUB>o</SUB>。本发明用机械结构来校正光学部分固有的非线性,灵敏度高,动态范围大,电子线路简化。
主权项:1.一种偏振光直线位移检测方法,其特征是:将被测量的直线位移X,通过机械转换机构[1],转换为与之具有函数关系的角位移θ,此角位移θ在偏振光检测系统[2]中则构成了偏振光之起偏器与检偏器透光轴间的夹角,根据光学上的马吕斯定律,角位移θ与透过检偏器的光强I之间具有确定的关系即I=Iocos2θ,其中Io为光源强度,通过光电变换电路[3]接收光强I得到电信号Vi,它也是角位移θ与直线位移x的函数,将电信号Vi经过电子线路[4]的处理,最终得到一个与直线位移X成正比的输出电信号Vo。
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