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SEMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号:JPH10303215(A)

申请号:JP19970112068

申请日期:1997.04.30

申请公布日期:1998.11.13

申请人:
NEC CORP

发明人:HASHIMOTO RYUSUKE

分类号:H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/320

主分类号:H01L21/28

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METHOD AND DEVICE FOR CALIBRATING PULSE WIDTH TIMING ERROR CORRECTION IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TEST

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