Método e sensor de pressão absoluta capacitivo

申请公布号：BR9509747(A)

申请号：BR19950009747

申请日期：1995.11.09

申请公布日期：1997.10.21

申请人：

CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY.

发明人：WEN H. KO

分类号：G01L9/12;G01L7/08;G01L9/00;H01C7/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01G7/00

主分类号：G01L9/12

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