CHANERUHAISENHOHO
申请公布号：JP2663680(B2)
申请号：JP19900135069
申请日期：1990.05.24
申请公布日期：1997.10.15
发明人：KAWAKAMI YOSHUKI;TOYONAGA MASAHIKO
分类号：H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号：H01L21/82
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