WASSERDAMPFVERSORGUNGSEINRICHTUNG
申请公布号:DE69126959(D1)
申请号:DE19916026959
申请日期:1991.10.05
申请公布日期:1997.08.28
发明人:SHINAGAWA, KEISUKE, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;FUJIMURA, SHUZO, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;MATOBA, YUUJI, SHINKO SEIKI CO., LTD., KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;NAKANO, YOSHIMASA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;TAKEUCHI, TATSUYA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;MIYANAGA, TAKESHI, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP
分类号:C23C16/448;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/42;H01L21/02
主分类号:C23C16/448
炭素繊維含有材料を利用したIII族窒化物結晶の成長のために使用される装置およびそれを用いて成長させられたIII族窒化物
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