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WASSERDAMPFVERSORGUNGSEINRICHTUNG

申请公布号:DE69126959(D1)

申请号:DE19916026959

申请日期:1991.10.05

申请公布日期:1997.08.28

申请人:
FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;SHINKO SEIKI CO. LTD., KOBE, HYOGO, JP

发明人:SHINAGAWA, KEISUKE, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;FUJIMURA, SHUZO, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;MATOBA, YUUJI, SHINKO SEIKI CO., LTD., KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;NAKANO, YOSHIMASA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;TAKEUCHI, TATSUYA, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP;MIYANAGA, TAKESHI, SHINKO SEIKI CO., LTD., NISHI-KU KOBE-SHI HYOGO 651-22, JP

分类号:C23C16/448;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/42;H01L21/02

主分类号:C23C16/448

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