FORMATION OF SILICON NITRIDE FILM

申请公布号：JPH0455398(A)

申请号：JP19900162211

申请日期：1990.06.20

申请公布日期：1992.02.24

申请人：

NEC CORP

发明人：ISHITANI AKIHIKO

分类号：C30B25/02;C30B29/38;H01L21/205

主分类号：C30B25/02

驱动器单片型显示装置

存储方法及存储设备

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