SEMICONDUCTOR DEVICE
申请公布号：JPH0453269(A)
申请号：JP19900161726
申请日期：1990.06.20
申请公布日期：1992.02.20
发明人：KUBOKAWA MICHIYA
分类号：H01L21/82;H01L23/50;H01L27/118
主分类号：H01L21/82
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