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METHOD OF DEPOSITING THIN FILMS BY VACUUM SUBLIMATION

申请公布号:PL286022(A1)

申请号:PL19900286022

申请日期:1990.07.10

申请公布日期:1992.01.13

申请人:
POLITECHNIKA WROCLAWSKA

发明人:POSADOWSKI WITOLD

分类号:C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35

主分类号:C23C14/35

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