MOVING STAGE DEVICE

申请公布号：JPS62159088(A)

申请号：JP19860001183

申请日期：1986.01.07

申请公布日期：1987.07.15

申请人：

CANON INC

发明人：IIZUKA KAZUO

分类号：G05D3/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68

主分类号：G05D3/00

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