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PRODUCTION OF SMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号:JPS5410683(A)

申请号:JP19770075519

申请日期:1977.06.27

申请公布日期:1979.01.26

申请人:
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE

发明人:SAKAI TETSUSHI;YAMAUCHI HIROKI;KOBAYASHI YOSHIHARU

分类号:H01L29/73;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L29/72

主分类号:H01L29/73

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