Vitreous carbon used in electronic and ionic optics components - due to its freedom from residual magnetic fields and other factors
申请公布号:DE2729810(A1)
申请号:DE19772729810
申请日期:1977.07.01
申请公布日期:1979.01.18
发明人:POLASCHEGG,HANS-DIETRICH,DR.-ING.;WILMERS,MARTIN,DR.
分类号:H01J1/38;H01J19/30;(IPC1-7):H01J3/00
主分类号:H01J1/38
摘要:<p>All structural components of electron- or ion-optical assemblies which can have an effect on the path of electrons or ions are made of vitreous carbon. Vitreous carbon has a low sec. electron emission coefft. and low electron and ion scattering factors. No surface charges can occur and it is suitable for >=2000 degrees C.</p>
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