光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置,申请号CN00113793.X-传众专利搜索

光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置

申请公布号：CN1209653C

申请号：CN00113793.X

申请日期：2000.04.26

申请公布日期：2005.07.06

申请人：

西安交通大学

发明人：谭玉山;王昭;孔兵;弥宁

分类号：G02B21/36;G01B11/24

主分类号：G02B21/36

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司

代理人：陈翠兰

地址：710049陕西省西安市咸宁路28号

摘要：本发明公开了一种光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置。让扩束准直光源照在其右侧棱镜上，通过棱镜斜面将光源照射到棱镜下方的光束分割器上，再经分割器下方的共焦显微系统聚焦于沿透镜系统光轴方向扫描的被测物体上，其反射光又经原路返回到光束分割器上，通过棱镜系统由其上的光采集系统输入计算机图象信息处理系统，由此即可自动求得被测物体表面的三维形貌数据，具有测量信噪比高、灵敏度高并且可调、结构较简单、装配调试方便、制造成本较低等优点。

主权项：1、光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法，将光源发射出的光经第一透镜、第一光阑和第二透镜扩束后并准直后照射到第一棱镜斜面上；其特征在于：经第一棱镜斜面被全反射到一光纤面板上，并被该光纤面板分割和扩束成N×N个薄壁光锥，然后利用由第三透镜，第二光阑，第四透镜组成的第一共焦显微镜系统聚焦于沿光路设置的位移平台上的被测物体表面，从被测物体表面反射回来的光沿原路返回光纤面板，并透过第一棱镜和第一棱镜左侧的第二棱镜后，依次穿过沿第二棱镜光路上设置的由第五透镜、第三光阑、第六透镜组成的第二共焦显微镜系统，聚焦于CCD靶面上，由CCD摄像机将视频信号输入计算机图像信息处理系统，位移平台使被测物体做上下垂直扫描运动，从而就可测得被测物体的三维形貌数据。