白光尘埃粒子计数器的光学探头
申请公布号:CN2132182Y
申请号:CN92215961.0
申请日期:1992.08.07
申请公布日期:1993.05.05
发明人:黄惠杰;邹海兴;潘家平
分类号:G01N15/00
主分类号:G01N15/00
代理人:李兰英;张泽纯
地址:201800上海市800-211邮政信箱
摘要:本实用新型是一种白光尘埃粒子计数器的光学探头,用于检测洁净环境的洁净度。主要由照明系统,散射光收集系统和用以校正的光纤和光陷阱,其中照明系统中光源是置于一球面反射镜和照明透镜组之间,散射光收集系统中光敏感区是在一具有光通道的球面反射镜和接收透镜组之间。本新型具有最小探测粒径小于0.30μ,计数效率和粒径集中度高于70%,信噪比高,灵敏度高,体积小等优点。
主权项:1、一种白光尘埃粒子计数器的光学探头,含有由光源1和照明透镜组2构成的照明系统,由接收透镜组6、视场光阑10和光电倍增管所构成的散射光收集系统,还有用以校正的光纤4和光陷阱5、其特征在于照明系统中光源1是置于一球面反射镜8和照明透镜组2两者之间;散射光收集系统中的光敏感区3是在一具有光通道的球面反射镜9与接收透镜组6两者之间。