CUTTING APPARATUS,申请号KR20160048047-传众专利搜索

CUTTING APPARATUS

申请公布号：KR20160128224(A)

申请号：KR20160048047

申请日期：2016.04.20

申请公布日期：2016.11.07

申请人：

DISCO CORPORATION

发明人：OHKAWARA SATOSHI;YAGIHARA MAKOTO;TERASHI KENTARO;AKASE KATSUHIKO;MATSUOKA SHINTARO;TANAKA KAZUNARI

分类号：H01L21/78;H01L21/67;H01L21/677

主分类号：H01L21/78

摘要：(과제) 장치 전체의 구성을 단순하게 하여 소형화함과 함께, 부품 점수를 줄여 제조 비용을 저감시킬 수 있는 절삭 장치를 제공한다. (해결 수단) 카세트 재치 기구와, 카세트 재치 기구에 재치된 카세트로부터 피가공물을 반출 및 반입하는 반출·반입 기구와, 반출·반입 기구에 의해 반출된 피가공물을 임시 거치하는 임시 거치 기구와, 임시 거치 기구에 임시 거치된 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 유지 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 기구와, 유지 테이블을 가공 이송 방향 (X 축 방향) 으로 가공 이송하는 가공 이송 기구를 구비하는 절삭 장치로서, 가공 이송 기구는, 유지 테이블을 임시 거치 기구가 배치 형성된 피가공물 착탈 영역과, 절삭 기구가 배치 형성된 가공 영역의 사이를 X 축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 X 축 가이드 레일과, X 축 가이드 레일을 따라 유지 테이블을 이동시키는 가공 이송 수단을 구비하고, 반출·반입 기구는, 지지 기대와, 지지 기대에 배치 형성되고 카세트에 수용된 피가공물을 파지하는 파지 부재와, 피가공물을 소정의 위치로 규제하는 1 쌍의 규제 핀과, 지지 기대를 Y 축 방향으로 이동시키는 반송 이동 수단을 구비하고, 임시 거치 기구는, Y 축 방향으로 연장하여 피가공물의 양 측부를 지지하는 바닥부와 측부를 갖고 바닥부가 개폐 가능하게 구성된 1 쌍의 지지 레일과, 1 쌍의 지지 레일의 그 바닥부를 개폐하는 개폐 수단과, 1 쌍의 지지 레일을 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단을 구비하고 있다.