线宽测定方法及线宽测定装置,申请号TW092101138-传众专利搜索

线宽测定方法及线宽测定装置

申请公布号：TW584708

申请号：TW092101138

申请日期：2003.01.20

申请公布日期：2004.04.21

申请人：

日立国际电气股份有限公司

发明人：小菅正吾;久木原美智男;广川智;清水高博

分类号：G01B11/02

主分类号：G01B11/02

代理人：恽轶群台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎台北市松山区南京东路三段二四八号七楼

地址：日本

摘要：【课题】本发明系用以提供一种可不受限于待测试料之图样断面形状，而可直接并正确地测定图样底侧长度之线宽测定装置。【解决手段】本发明之线宽设定装置设有用以投影透明基板上之被测定物的光学显微镜；及可用以将已被投影之被测定物摄影后，转换为影像信号之摄影部；本装置可将影像信号加以演算处理以测定被测定物，并设有可使该透明基板保持为略垂直之固定台，且该光学显微镜系由该透明基板之里侧投影被测定物。

主权项：1.一种线宽测定方法,其系利用线宽测定装置进行者,该线宽测定装置系由以下部分所构成,即:固定台,系用以支持已形成有被测定物之测定基板者;照明机构,系用以照明该被测定物者;摄影装置,系透过光学显微镜摄影该测定基板者;及信号处理部,系用以处理来自该摄影装置之影像信号,并测量该被测定物之尺寸者;其中,该摄影装置系配置于该测定基板中形成有该被测定物之侧的相反侧,且藉该照明机构而由该测定基板侧照明该被测定物,使其反射光经由该测定基板以藉该摄影装置进行摄影。2.如申请专利范围第1项之线宽测定方法,其中该形成有被测定物之测定基板为已形成有滤色器之液晶基板或TFT基板。3.一种线宽测定装置,其系由以下部分所构成,即:固定台,系用以支持已形成有被测定物之测定基板;照明机构,系用以照明该被测定物者;摄影装置,系透过光学显微镜摄影该测定基板者;及信号处理部,系用以处理来自该摄影装置之影像信号,并测量该被测定物之尺寸者;其中,前述摄影装置及照明机构系设置于该测定基板中形成有该被测定物之侧的相反侧,且藉该照明机构而由该测定基板侧照明该被测定物,使其反射光经由该测定基板以藉该摄影装置进行摄影。4.如申请专利范围第3项之线宽测定装置,其具有机构部,以驱动可支持该测定基板之固定台或该摄影装置。5.如申请专利范围第3项之线宽测定装置,其系将支持该测定基板之固定台构成为可使该测定基板大致呈纵方向者。6.如申请专利范围第3项之线宽测定装置,其中已形成有该被测定物之测定基板为已形成有滤色器之液晶基板或TFT基板。7.一种线宽测定方法,其系利用可藉光学显微镜与摄影装置来测定透明基板上之被测物之微小尺寸的线宽装置而进行者,且其系由该透明基板之里侧测定该被测定物。图式简单说明:第1图系一块状图,用以显示本发明一实施例之线宽测定装置之基本结构。第2图系用以说明习知之测定方法者。第3图系一块状图,用以显示基本之线宽测定装置结构。第4图系用以简单说明尺寸测定处理之原理者。第5图系用以说明本发明之测定方法者。第6图系用以显示以习知方法所摄影像之一例者。第7图系用以显示以本发明之方法所摄影像之一例者。第8图系用以显示以习知方法所摄影像之一例者。第9图系用以显示以本发明之方法所摄影像之一例者。第10图系一块状图,用以显示本发明其他实施例之线宽测定装置之基本结构。