DEVICE FOR FORMING LINE BEAM,申请号KR20150082119-传众专利搜索

DEVICE FOR FORMING LINE BEAM

申请公布号：KR20160145910(A)

申请号：KR20150082119

申请日期：2015.06.10

申请公布日期：2016.12.21

申请人：

주식회사 필옵틱스

发明人：문진배;김혜정;류상길

分类号：H01L33/00;G02B19/00;G02B27/09;H01L33/44

主分类号：H01L33/00

摘要：복수의 미러로 구성된 단일 미러 세트를 이용하여 레이저 빔의 진행 방향(z축)에 대해 직각인 제1 방향(y축)으로 빔을 일정 크기의 조각 빔으로 분할하고 상기 레이저 빔의 진행 방향(z축)에 대해 직각인 제2 방향(x축)으로 상기 조각 빔들을 일정 간격으로 배열하여 출사할 수 있도록 구성한 라인 빔 형성 장치가 제공된다. 본 발명의 라인 빔 형성 장치는 멀티-모드 레이저 빔으로서 빔 퍼짐성(beam divergence)이 높은 엑시머 레이저나 고출력 DPSS 레이저, 또는 레이저 다이오드에 활용될 수 있고, 빔이 꽉 집광되어 고밀도 에너지를 얻을 수 있고, 장축과 단축 모두에 있어서 강도가 균일한 빔 프로파일을 얻을 수 있으며, 입사 빔의 성질에 영향을 받지 않고 복수의 레이저 빔의 결합이 가능하다.