DEIONIZED WATER SUPPLYING APPARTUS IN SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING SYSTEM

申请公布号：KR930000400(Y1)

申请号：KR19900010330U

申请日期：1990.07.13

申请公布日期：1993.01.30

申请人：

GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD.

发明人：BAE, BYONG - CHOL

分类号：H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304

主分类号：H01L21/304

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