角度扫描光发射电子显微成像系统及方法,申请号CN201310395592.7-传众专利搜索

角度扫描光发射电子显微成像系统及方法

申请公布号：CN103426709B

申请号：CN201310395592.7

申请日期：2013.09.03

申请公布日期：2016.05.25

申请人：

北京中科科仪股份有限公司

发明人：耿俊清;李奇志;张军安;孙占峰

分类号：H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I

主分类号：H01J37/26(2006.01)I

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：穆瑞丹

地址：100190 北京市海淀区中关村北二条13号

摘要：一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜的反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。

主权项：一种角度扫描光发射电子显微成像系统，其特征在于，包括光束扫描系统，包括激发光源(2)、整形镜(3)、聚焦镜(4)、振镜(5)和成像镜(7)；所述激发光源(2)，位于第一真空腔体(1)外部，用于发射激发光；所述整形镜(3)，位于所述第一真空腔体(1)内部，用于对所述激发光源(2)发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜(3)的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜(4)和所述振镜(5)，位于所述第一真空腔体(1)内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜(5)的反射镜旋转中心处；所述成像镜(7)，位于所述第一真空腔体(1)内部，用于将经过所述振镜(5)的反射光成像到被测样品(9)的表面；电子显微系统，位于第二真空腔体(19)内部，用于对所述被测样品(9)表面光电子进行成像；控制系统，位于所述第一真空腔体(1)和所述第二真空腔体(19)的外部，用于控制所述光束扫描系统和所述电子显微系统的运行；所述电子显微系统包括样品台(8)，与负高压连接，用于放置所述被测样品(9)；电磁物镜(10)，与电势地连接，在所述被测样品(9)与所述电磁物镜(10)之间形成电子加速电场；电子面阵探测器(13)，所述成像镜(7)将经过所述振镜(5)的反射光成像到被测样品(9)的表面后，所述被测样品(9)表面电子受到光子激发，在满足光电效应发生条件时，电子脱离所述被测样品(9)表面依次经过所述电磁物镜(10)投射到所述电子面阵探测器(13)上成像。