一种激光光刻机控制系统及其光刻机,申请号CN201510996944.3-传众专利搜索

一种激光光刻机控制系统及其光刻机

申请公布号：CN105467778A

申请号：CN201510996944.3

申请日期：2015.12.28

申请公布日期：2016.04.06

申请人：

苏州工业职业技术学院

发明人：殷庆纵;张宇峰;王栋

分类号：G03F7/20(2006.01)I

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：胡晶

地址：215104 江苏省苏州市苏州国际教育园致能大道1号

摘要：本发明公开了一种激光光刻机控制系统及其光刻机，包括单片机、曝光控制电路、X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，所述第一单片机输入端连接X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。本发明采用了动态曝光、双向逐行扫描的工作方式，有效提高了光刻工作速度和精度。

主权项：一种激光光刻机控制系统，其特征在于，包括单片机、曝光控制电路、X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，其中，所述第一单片机输入端连接X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。