焊球印刷搭载装置,申请号CN201310257832.7-传众专利搜索

焊球印刷搭载装置

申请公布号：CN103515274B

申请号：CN201310257832.7

申请日期：2013.06.26

申请公布日期：2016.03.23

申请人：

株式会社日立制作所

发明人：五十岚章雄;水鸟量介;三本胜;桥本尚明

分类号：H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I

主分类号：H01L21/677(2006.01)I

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：张斯盾

地址：日本东京

摘要：本发明公开了一种焊球印刷搭载装置。本发明中，做成下述结构，即、使用具备多个真空吸附垫的第一运入机构、第一运出机构、第二运入机构、第二运出机构，将基板搭载在具备平的面的第一运送承载器上，向焊剂印刷机的印刷工作台上、从焊剂印刷机向第二运送承载器上、从第二运送承载器上向焊球印刷机的印刷工作台上、从焊球印刷机向第三运送承载器上移载，同时对在印刷工作台上的基板的四角以及掩模的四角设置的对位标记同时用不同的照相机单元摄像运送方向的前侧和后侧，求出位置偏移量。

主权项：一种焊球印刷搭载装置，其特征在于，做成下述结构，即包括：第一运送部，所述第一运送部具备第一运送承载器，所述第一运送承载器搭载基板并向焊剂印刷机运送；第一运入机构，所述第一运入机构被设置在前述第一运送部的焊剂印刷机侧的上部，且能够在基板运送方向移动地被设置在前述第一运送承载器上方，从前述第一运送承载器向前述焊剂印刷机移载；第一运出机构，所述第一运出机构用于将由前述焊剂印刷机印刷了焊剂的基板向第二运送部的第二运送承载器移载；第二运入机构，所述第二运入机构从前述第二运送承载器向焊球印刷机移载；以及第二运出机构，所述第二运出机构将充填了焊球的基板向第三运送部的第三运送承载器移载，由设置在前述第一运入机构上的照相机单元和设置在前述第一运出机构上的照相机单元，对在载置于前述焊剂印刷机的印刷工作台上的基板的四角设置的对位标记和在被配置于前述焊剂印刷机上方以及焊球印刷机上方的掩模的四角设置的对位标记同时进行摄像，且由设置在前述第二运入机构和前述第二运出机构上的照相机单元，对在载置于焊球印刷机的印刷工作台上的基板和掩模上设置的前述对位标记进行摄像，由控制部求出位置偏移量，水平移动印刷工作台，对位置偏移进行校正。