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TUNING-FORK TYPE PIEZOELECTRIC VIBRATING DEVICES AND METHODS FOR MANUFACTURING SAME

申请公布号:US2009058232(A1)

申请号:US20080199719

申请日期:2008.08.27

申请公布日期:2009.03.05

申请人:
NIHON DEMPA KOGYO CO., LTD.

发明人:TAKAHASHI TAKEHIRO

分类号:H01L41/04;H01L41/22

主分类号:H01L41/04

摘要:Piezoelectric vibrating devices are disclosed that include a base formed of a piezoelectric material, at least two vibrating arms extending in a predetermined direction from an edge of the base, and grooves defined in the vibrating arms. A first metal film comprising a single layer of at least one of Cr, Ni, and Ti is formed at least in the grooves for use as driving electrodes. Also disclosed are methods for manufacturing such devices.

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