具有耗尽层的玻璃和构造于其上的多晶硅TFT,申请号CN201480024271.9-传众专利搜索

具有耗尽层的玻璃和构造于其上的多晶硅TFT

申请公布号：CN105164795A

申请号：CN201480024271.9

申请日期：2014.04.25

申请公布日期：2015.12.16

申请人：

康宁股份有限公司

发明人：庄大可;顾云峰;R·G·曼利

分类号：H01L21/324(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I

主分类号：H01L21/324(2006.01)I

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：乐洪咏;沙永生

地址：美国纽约州

摘要：本发明公开了一种对显示器玻璃基板进行化学处理的方法，包括用含HCl的热溶液处理玻璃基板的至少一个表面，在玻璃基板的表面处和表面下方形成耗尽层。本公开内容还涉及含有通过所揭示的方法制备的耗尽层的显示器玻璃基板。此外，本公开内容涉及在这些显示器玻璃基板上制备薄膜晶体管(“TFT”)的方法，包括在经过化学处理的玻璃基板表面上直接沉积Si层，然后对Si层进行退火，形成多晶硅。

主权项：一种对玻璃基板的表面层进行化学处理的方法，所述方法包括：使所述基板的至少一个表面在一种温度下与包含HCl的热溶液接触一段时间，所述温度和时间足以从所述玻璃基板的表面和表面下方浸出至少一种元素；以及其中所述玻璃基板的表面粗糙度在该接触步骤之前和之后基本上相同。