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积层膜片检测系统

申请公布号:CN204666996U

申请号:CN201520251878.2

申请日期:2015.04.23

申请公布日期:2015.09.23

申请人:
明基材料有限公司;明基材料股份有限公司

发明人:吴建宏

分类号:G02F1/13(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I

主分类号:G02F1/13(2006.01)I

地址:215121 江苏省苏州市工业园区春辉路13号

摘要:本实用新型提供一种积层膜片检测系统,其中积层膜片包含保护膜与偏光板,且保护膜的宽度方向具有记录保护膜各区域的光学性质的图案标记,系统包含光源、可调相位差装置、检测用偏光板、标记读取装置、控制单元、影像撷取装置以及检测元件,其中可调相位差装置包含复数区可独立调整补偿值的相位差阵列以抵消保护膜各区域的相位差,因此,可藉由影像撷取装置撷取抵消保护膜各区域的相位差影响后的积层膜片的透光影像,对积层膜片进行缺陷检测。本实用新型的积层膜片检测系统解决了现有技术中无法对贴附保护膜后的偏光板进行缺陷检测的技术问题。

主权项:一种积层膜片检测系统,其特征在于,该积层膜片包含保护膜与偏光板,该积层膜片检测系统包含:光源,用以照射该积层膜片的该偏光板的一侧,其中该积层膜片的该保护膜的宽度方向的一端具有记录该保护膜的各区域的光学性质的图案标记;可调相位差装置,其设置于该积层膜片的该保护膜的一侧,且包含复数区可独立调整补偿值的相位差阵列;检测用偏光板,其设置于该光源通过该可调相位差装置后的光路上;标记读取装置,用以读取该保护膜的该图案标记,并解读该图案标记所记录的光学性质;控制单元,其电连接于该标记读取装置与该可调相位差装置,并依照该图案标记所记录的该光学性质调整该可调相位差装置的该复数区的相位差阵列的补偿值,以与该保护膜的各相应区域的相位差抵消;影像撷取装置,设置于该光源通过该检测用偏光板后的光路上,用以撷取抵消保护膜相位差后的该积层膜片的透光影像;以及检测元件,其电连接于该影像撷取装置,并基于所撷取的透光影像,对该积层膜片进行缺陷检测。

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