一种真空镀膜机行星式工件架,申请号CN201310178241.0-传众专利搜索

一种真空镀膜机行星式工件架

申请公布号：CN103290382B

申请号：CN201310178241.0

申请日期：2013.05.15

申请公布日期：2015.09.09

申请人：

宁波韵升股份有限公司;宁波韵升机电设备有限公司;宁波韵升磁体元件技术有限公司

发明人：周小平;杨庆忠

分类号：C23C14/50(2006.01)I

主分类号：C23C14/50(2006.01)I

代理机构：

宁波天一专利代理有限公司 33207

代理人：徐良江

地址：315040 浙江省宁波市高新区扬帆路1号

摘要：一种真空镀膜机行星式工件架，包括动力输入机构、工件架外支架、转笼行星架、转笼驱动部件、容纳工件的转笼、传动链轮和动力传递链条，转笼行星架一端由固定在工件架外支架上的旋转体支撑，转笼行星架另一端旋转中心由固定在工件架外支架上的旋转轴承支撑，转笼行星架至少安装三组以上的转笼驱动部件，每只转笼驱动部件装有转笼链轮，动力传递链条与多个转笼驱动部件的转笼链轮啮合的同时与固定在工件架外支架上的链轮啮合，所述动力输入机构驱动转笼行星架转动。本发明能有效提高镀膜机中工作效率和工件镀层质量，减少工件相互划伤和碰伤的概率，有效地满足卧式多靶真空溅射或离子镀膜机施镀时的各种工艺要求。

主权项：一种真空镀膜机行星式工件架，其特征在于：包括动力输入机构、工件架外支架、转笼行星架、转笼驱动部件、容纳工件的转笼、传动链轮和动力传递链条，转笼行星架一端由固定在工件架外支架上的旋转体支撑，转笼行星架另一端旋转中心由固定在工件架外支架上的旋转轴承支撑，转笼行星架至少安装三组以上的转笼驱动部件，每只转笼驱动部件装有转笼链轮，动力传递链条与多个转笼驱动部件的转笼链轮啮合的同时与固定在工件架外支架上的链轮啮合，所述动力输入机构驱动转笼行星架转动。