用于微机械构件的电极装置,申请号CN201410642584.2-传众专利搜索

用于微机械构件的电极装置

申请公布号：CN104627946A

申请号：CN201410642584.2

申请日期：2014.11.07

申请公布日期：2015.05.20

申请人：

罗伯特·博世有限公司

发明人：J·克拉森

分类号：B81B7/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I

主分类号：B81B7/00(2006.01)I

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：郭毅

地址：德国斯图加特

摘要：一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10EP)；至少一个第二功能层(20VP)；和至少一个第三功能层(30FP)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少逐区段地完全免于氧化物材料(40)。

主权项：一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10)、至少一个第二功能层(20)和至少一个第三功能层(30)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少逐区段地完全免于氧化物材料(40)。