用于单晶炉的坩埚轴
申请公布号:CN104419981A
申请号:CN201310380289.X
申请日期:2013.08.28
申请公布日期:2015.03.18
发明人:秦青云
分类号:C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I
主分类号:C30B15/10(2006.01)I
代理人:何学成
地址:213000 江苏省常州市新北区西夏墅镇太行山路
摘要:本发明属于光伏太阳能领域,具体是一种用于单晶炉的坩埚轴,它用于生长晶硅的单晶炉。它包括轴体以及轴体内的内管,所述的轴体的壁内设有一个冷却通路,该冷却通路一端与轴体的冷却夹层连通,另一端与冷却夹层的出水口连通,轴体的一端设有用于连接石墨托杆轴的内螺纹孔。本发明的优点是通过内螺纹孔防止了螺纹损坏,通过冷却通路与通路内凹槽的设置,增强了冷却效果,延长了设备的使用寿命。
主权项:用于单晶炉的坩埚轴,它包括轴体以及轴体内的内管,其特征在于:所述的轴体的壁内设有一个冷却通路,该冷却通路一端与轴体的冷却夹层连通,另一端与冷却夹层的出水口连通,轴体的一端设有用于连接石墨托杆轴的内螺纹孔。
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