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PARTICLE DETECTION DEVICE AND PARTICLE DETECTION METHOD

申请公布号:WO2014097724(A1)

申请号:WO2013JP77883

申请日期:2013.10.15

申请公布日期:2014.06.26

申请人:
SONY CORPORATION

发明人:TAHARA KATSUTOSHI

分类号:G01N15/14;G01N21/49

主分类号:G01N15/14

摘要:Provided are a particle detection device and a particle detection method whereby it is possible to accurately detect scattered light. This particle detection device has at least a light irradiation unit for irradiating particles with light, and a scattered light detection unit for detecting scattered light emitted from the irradiated particles. The scattered light detection unit is equipped with first detection unit for detecting scattered light, a second detection unit for detecting light irradiating the particles, and a signal processing unit for eliminating noise components from the signal detected by the first detection unit, doing so on the basis of a signal detected by the second detection unit.

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