МИШЕНЬ ИЗ ДИБОРИДА ТИТАНА,申请号RU20120144268-传众专利搜索

МИШЕНЬ ИЗ ДИБОРИДА ТИТАНА

申请公布号：RU2012144268(A)

申请号：RU20120144268

申请日期：2011.05.02

申请公布日期：2014.06.10

申请人：

Планзее 3Е

发明人：О'САЛЛИВАН Майкл

分类号：C23C14/34

主分类号：C23C14/34

摘要：1. Мишень из диборида титана для физического осаждения из паровой фазы, содержащая частицы одного или более металлов из группы, состоящей из железа, никеля, кобальта и хрома, а также содержащая углерод, отличающаяся тем, чтосредний размер зерен TiBсоставляет от 1 мкм до 20 мкм,содержание углерода составляет от 0,1 до 5 мас.%,общее содержание Fe, Ni, Со и/или Cсоставляет от 500 до 3000 мкг/г,углерод распределен в свободном состоянии на границах зерен TiBтаким образом, что среднее расстояние между отдельными частицами углерода составляет менее 20 мкм,пористость составляет менее 5 об.%.2. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что содержание углерода составляет от 0,5 до 3 мас.%.3. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что средний размер зерен TiBсоставляет от 2 мкм до 10 мкм.4. Мишень из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что она содержит Fe в количестве от 1000 до 2000 мкг/г.5. Способ получения мишени из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiBи порошка графита измельчают в устройстве для измельчения с помощью мелющих шаров, которые содержат один или более металлов из группы, состоящей из Fe, Ni, Со и Cr, до достижения общего количества Fe, Ni, Со и/или Cот 500 до 3000 мкг/г, и полностью измельченную порошковую смесь уплотняют путем горячего прессования при давлении прессования от 10 МПа до 40 МПа и температуре от 1600°С до 2000°С.6. Способ получения источника испарения из диборида титана по п.4, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiBи порошка графита измельчают в аттриторе с помощью железных мелющих шаров до достижения содержания железа от 1000 до 2000 мкг/