用于检测红外辐射的系统和方法
申请公布号:CN102460096B
申请号:CN201080029458.X
申请日期:2010.04.19
申请公布日期:2014.05.14
发明人:伯努瓦·杜邦;米歇尔·维兰
分类号:G01J5/22(2006.01)I;G01J5/24(2006.01)I
主分类号:G01J5/22(2006.01)I
代理人:李春晖;李德山
地址:法国弗雷沃鲁瓦泽
摘要:本发明涉及一种用于检测红外辐射的装置,其包括:测辐射热计(12)的阵列(42),用于检测所述辐射;以及包括电路(14)、电路(20)和电路(18)的信号整形电路(14、46),用于读取每个测辐射热计(12),其中电路(14)能够以预定电压对该测辐射热计加偏压从而使电流流过所述测辐射热计,电路(20)能够产生共模电流,电路(18)能够对流过测辐射热计的电流与共模电流之间的差进行积分。根据本发明,该装置包括电路(52),电路(52)能够将电流注入每个测辐射热计,以使其电阻变化取决于其偏移的预定量,在读出该测辐射热计的偏压之前先执行该电流注入,并根据测辐射热计的电阻随温度变化的方向来执行该变化。此外,校正电路(52)能够使测辐射热计(12)的电阻向公共值变化。
主权项:1.一种用于检测红外辐射的装置,包括:用于检测所述红外辐射的测辐射热计的阵列,每个所述测辐射热计包括悬于衬底之上的半导体类型的测辐射热计膜;以及用于对每个测辐射热计进行读取的信号整形电路,所述信号整形电路包括:读出偏压电路,以预定电压V<sub>ac</sub>将所述测辐射热计加偏压,从而使电流流过所述测辐射热计;共模注入电路,产生共模电流;以及积分电路,对流过所述测辐射热计的电流与所述共模电流之间的差进行积分,其特征在于,所述装置包括用于校正所述测辐射热计的电阻的校正电路,所述校正电路将电流注入每个测辐射热计,以使所述电阻变化预定量,所述预定量取决于所述测辐射热计的偏移,在读出所述测辐射热计的偏压之前先执行所述电流注入,并根据所述测辐射热计的电阻随温度变化的方向执行所述变化;以及,所述校正电路使所述测辐射热计的电阻向公共值变化,并且所述校正电路包括:在测辐射热计中注入单一恒定电流的电流电路;定时工具,所述定时工具在根据下列等式的取决于所述测辐射热计的时长t(i,j)之后停止每个所述测辐射热计中的电流注入:<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>t</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><msup><mrow><mi>k</mi><mo>.</mo><mi>TPF</mi></mrow><mn>2</mn></msup><mo>.</mo><msub><mi>C</mi><mi>th</mi></msub></mrow><mrow><msub><mi>E</mi><mi>A</mi></msub><mo>.</mo><msubsup><mi>V</mi><mi>ac</mi><mn>2</mn></msubsup></mrow></mfrac><mo>.</mo><mi>Δ</mi><msub><mi>R</mi><mn>0</mn></msub><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow></mrow></math>]]></maths>其中,ΔR<sub>0</sub>(i,j)是取决于所述测辐射热计的所述偏移的量,k是波尔兹曼常数,TPF是所述衬底的温度,C<sub>th</sub>是所述测辐射热计的热容,E<sub>A</sub>是制成所述测辐射热计的测辐射热计材料的热传导活化能,V<sub>ac</sub>是所述测辐射热计两端的电压。