一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法,申请号CN201410006213.5-传众专利搜索

一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法

申请公布号：CN103730548A

申请号：CN201410006213.5

申请日期：2014.01.07

申请公布日期：2014.04.16

申请人：

福建省诺希新材料科技有限公司

发明人：陈明亿;王维纲;侯则良

分类号：H01L33/00(2010.01)I;H01L21/683(2006.01)I

主分类号：H01L33/00(2010.01)I

代理机构：

福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙) 35217

代理人：刘毅峰

地址：350300 福建省福州市福清市融侨开发区光电科技园

摘要：本发明提供一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）将图案化蓝宝石衬底放置在反应容器内，向反应容器内通入含有氧气的高温氧化性气体，氧化性气体的压力为0.1~1个大气压、温度为900~1100℃，分解至外延层的厚度为0.5~1微米；（2）增大氧化性气体压力至1.1~5个大气压，温度降低至700~900℃继续进行氧化分解，直至将图案化蓝宝石衬底表面的外延层分解干净。本发明不仅可将蓝宝石衬底上的外延层去除，同时也避免了蓝宝石衬底的图案的变形。此外，外延层中的金属镓形成氧化镓而保留下来，避免金属镓的浪费。

主权项：一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）将图案化蓝宝石衬底放置在反应容器内，向反应容器内通入高温氧化性气体，氧化性气体的压力为0.1~1个大气压、温度为900~1100℃，分解至外延层的厚度为0.5~1微米；（2）增大氧化性气体压力至1.1~5个大气压，温度降低至700~900℃继续进行氧化分解，直至将图案化蓝宝石衬底表面的外延层分解干净。