位置微调装置及应用其的物镜,申请号CN201110008295.3-传众专利搜索

位置微调装置及应用其的物镜

申请公布号：CN102590974B

申请号：CN201110008295.3

申请日期：2011.01.14

申请公布日期：2014.02.19

申请人：

上海微电子装备有限公司

发明人：雷军;谢志成;夏洪发;黄玲

分类号：G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I

主分类号：G02B7/02(2006.01)I

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：屈蘅;李时云

地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号

摘要：本发明提出一种位置微调装置，用于微调物镜的镜片位置。物镜包括镜筒、镜座和镜片，镜座承载镜片可移动地设置在镜筒上。位置微调装置设置在镜筒和镜座之间，包括底座、侧板、顶块、楔块和螺杆。底座固定在镜筒上。侧板与底座固定连接。顶块可沿Z向移动地设置于底座，顶块支撑镜座。楔块可滑动地设置于底座和顶块之间。螺杆螺纹连接于侧板，固定于楔块。其中顶块与底座之间的距离沿X向逐渐变化，当沿Rx向转动螺杆时，螺杆带动楔块沿X向移动，楔块推动顶块沿Z向移动。本发明提出的位置微调装置，通过将楔块的X向移动转变为顶块的Z向移动，而对镜座进行微调，调整精度大，稳定性好。应用该位置微调装置的物镜也一并揭露。

主权项：一种位置微调装置，用于微调物镜的镜片位置，所述物镜包括镜筒、镜座和所述镜片，所述镜座承载所述镜片可移动地设置在所述镜筒上，其特征是，所述位置微调装置设置在所述镜筒和所述镜座之间，所述位置微调装置包括：底座，将所述位置微调装置固定在所述镜筒上；侧板，与所述底座固定连接；顶块，可沿Z向移动地设置于所述底座，所述顶块支撑所述镜座；楔块，可滑动地设置于所述底座和所述顶块之间；螺杆，一端螺纹连接于所述侧板，另一端固定连接于所述楔块；以及挡板，固定于所述楔块，所述楔块与所述挡板形成容置腔，部分所述螺杆容置在所述容置腔内；其中所述顶块与所述底座之间的距离沿X向逐渐变化，当沿Rx向转动所述螺杆时，所述螺杆带动所述楔块沿X向移动，所述楔块推动所述顶块沿Z向移动。