图案化结构的制造方法,申请号TW097126921-传众专利搜索

图案化结构的制造方法

申请公布号：TWI407261

申请号：TW097126921

申请日期：2008.07.16

申请公布日期：2013.09.01

申请人：

财团法人工业技术研究院新竹县竹东镇中兴路4段195号

发明人：陈英棋

分类号：G03F7/20;G03F1/00;G02B5/30

主分类号：G03F7/20

代理人：洪澄文台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺台北市南港区三重路19之6号2楼

地址：新竹县竹东镇中兴路4段195号

摘要：本发明提供一种图案化结构的制造方法。提供一材料层，以及以一多重热写头将该材料层形成一图案化区域和一非图案化区域，其中该图案化区域和该非图案化区域具有不同的物理性质。另择一地，该材料层为形成于一基板上，并于转移成图案化区域和非图案化区域的步骤后，移除该非图案化区域。