肖特基势垒二极管和制造肖特基势垒二极管的方法

申请公布号：CN102119443B

申请号：CN200980131020.X

申请日期：2009.07.23

申请公布日期：2013.08.14

申请人：

住友电气工业株式会社

发明人：堀井拓;宫崎富仁;木山诚

分类号：H01L29/47(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I

主分类号：H01L29/47(2006.01)I

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：孙志湧;穆德骏

地址：日本大阪府

摘要：一种制造肖特基势垒二极管(11)的方法包括以下步骤。首先，准备GaN衬底(2)。在GaN衬底(2)上形成GaN层(3)。形成肖特基电极(4)，该电极包括由Ni或Ni合金制成的且与GaN层(3)接触的第一层。形成肖特基电极(4)的步骤包括形成金属层以用作肖特基电极(4)的步骤以及热处理金属层的步骤。与肖特基电极(4)接触的GaN层(3)的区域具有1×108cm-2或更小的位错密度。

主权项：一种制造肖特基势垒二极管的方法，包括以下步骤：准备GaN层(3)；以及形成肖特基电极(4)，所述肖特基电极(4)包括第一层(4a)，所述第一层(4a)由Ni或Ni合金构成并且与所述GaN层(3)相接触，其中，所述的准备GaN层(3)的步骤包括这样一个步骤，其中，准备所述GaN层(3)，使得该GaN层(3)的与所述肖特基电极(4)相接触的区域(3c)具有1×108cm‑2或更小的位错密度，以及所述的形成肖特基电极(4)的步骤包括在所述GaN层(3)上形成具有开口的绝缘层(17)的步骤、形成用作从所述开口延伸到所述绝缘层的所述肖特基电极(4)的金属层的步骤、以及热处理所述金属层与所述绝缘层从而形成包括所述第一层(4a)的所述肖特基电极(4)的步骤。

ROLLING MILL WORKING STAND

CATALIZZATORE PER LA PRODUZIONE DI COMPOSTI OSSIRANICI MEDIANTE EPOSSIDAZIONE DI OLEFINE CON IDROPEROSSIDI E PROCESSO PER LA SUA PREPARAZIONE

MANGIME PER POLLAME

ELEMENTO A PANNO PER IMPIEGO CHIRURGICO

PROCEDIMENTO E DISPOSITIVO PER LA PRODUZIONE DI ACCIAIO DA GHISA DI PRIMA FUSIONE

Auxiliary circuit for control of telephone bell - has semiconductor circuit determining activation by code

One-pass electroconductive coating colour formulation - having improved solvent holdout, useful in mfr of electrophotographic reproduction papers

Welding low-alloy steels containing niobium - titanium and-or vanadium added to weld for improved toughness

Topical application of anthelmintics - esp. halobenzimidazoles e.g. as thickened solns.

DISPOSITIVO DI TEMPORIZZAZIONE PNEUMATICO

PERFEZIONAMENTO NELLE PUNTE DI TRIVELLAZIONE A SCALPELLI ROTANTI

PERFEZIONAMENTO NELLE BENNE

PERFEZIONAMENTO NEI PANNOLINI ASSORBENTI MONOUSO PER NEONATI

DISPOSITIVO E PROCEDIMENTO PER IL CONTROLLO DELLA DEFORMAZIONE DI PARTI COSTRUTTIVE IN PARTICOLARE METALLICHE

PERFEZIONAMENTO NEI SISTEMI COLLETTORI DI ENERGIA SOLARE

PERFEZIONAMENTI RELATIVI A UN METODO E UNA APPARECCHIATURA PER LA PRODUZIONE CONTINUA DI STRUTTURE DI ANZIME INTERNA A NIDO D API

A PROCESS FOR PRODUCING A CATALYST EFFECTIVE FOR SPONTANEOUS DECOMPOSITION OF HYDRAZINES

IMPROVED PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF PREORIENTED AND TEXTURIZEDNYLON 6 (POLYCAPRONAMIDE) YARNS

MENSTRUATIONSTAMPONER

MASSE DA MODELLAMENTO TERMOPLASTICHE DA POLICARBONATO CON MIGLIORATA SFORMABILITA