一种用于光刻机的柱面镜的手动抛光工具

申请公布号：CN202943509U

申请号：CN201220678531.2

申请日期：2012.12.11

申请公布日期：2013.05.22

申请人：

上海现代先进超精密制造中心有限公司

发明人：蒋泉权;魏向荣;顾亚平

分类号：B24B13/01(2006.01)I

主分类号：B24B13/01(2006.01)I

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：张泽纯

地址：200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室

摘要：一种用于光刻机的柱面镜的手动抛光工具，特征在于其构成包括抛光头、与该抛光头固定连接的手柄、以及黏贴在该抛光头外表面的绒布。本实用新型在保证粗糙度的同时兼顾面型，同时避免杂物混入抛光区域。

主权项：一种用于光刻机的柱面镜的手动抛光工具，特征在于其构成包括抛光头（2）、与该抛光头（2）固定连接的手柄（1）、以及黏贴在该抛光头外表面的绒布（3）。

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