确定层厚,申请号CN201180035976.7-传众专利搜索

确定层厚

申请公布号：CN103026169A

申请号：CN201180035976.7

申请日期：2011.06.03

申请公布日期：2013.04.03

申请人：

造型逻辑有限公司

发明人：S·瑞德尔

分类号：G01B7/06(2006.01)I

主分类号：G01B7/06(2006.01)I

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：秦晨

地址：英国剑桥

摘要：一种技术，包括：生产根据公共的生产工艺的多种器件；并且使用取决于器件的第一元件与经由所述层部分下垫于所述第一元件之下的器件的第二元件之间的重叠面积的第一电性质的指示值来确定所述多个器件之一的层的厚度，其中该方法还包括：另外使用取决于器件的所述第一元件与同样经由所述层而部分地位于所述第一元件下方的器件的第三元件之间的重叠面积的第二电性质的指示值，其中与所述第一电性质的指示值（b）相比，在所述第一电性质的测量指示值（i）与所述第二电性质的测量指示值（ii）之间的差值（a）提供所述层的厚度的更可靠的指示值。

主权项：一种方法，包括：按照公共的生产工艺来生产多个器件；以及使用取决于所述器件的第一元件与所述器件的第二元件之间的重叠面积的第一电性质的指示值来确定所述多个器件之一的层的厚度，所述第二元件经由所述层部分地位于所述第一元件下方，其中所述方法还包括：另外使用取决于所述器件的所述第一元件与所述器件的第三元件之间的重叠面积的第二电性质的指示值，所述第三元件也经由所述层部分地位于所述第一元件的下方，其中（a）所述第一电性质的测量指示值（i）与所述第二电性质的测量指示值（ii）之间的差值提供比（b）所述第一电性质的指示值更可靠的所述层的厚度的指示值。